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真空等离子清洗机容量5升（L）也叫等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁等目的。
真空等离子清洗机泛指容积在5升以下，射频电源功率在200瓦以下的等离子清洗机。根据不同的清洗和处理要求，又以射频频率划分为40KHz,13.56MHz和2.54GHz三种。相比较而言，工作在40KHz射频频率时，其匹配简单，所提供的射频电源效率高，故常规的材料处理和清洗应用中较为普及。
等离子清洗机的优点：
1.等离子清洗机不需要气态材料进行辅助，减少清洁成本。
2.跟自动化设备进行配套使用，可以提高清洗产能。
3.等离子清洗机是利用辉光进行清洗机，可以说是全方位的，不用担心材料表面凹凸不平，而达不到清洁效果。
4.可以同时处理金属，塑料，半导体，氧化物，或者是高分子材料都可以处理。
5.由于等离子主要是分解掉有机污染物，所以不用担心污染或危害健康。
6.清洁过后不用打扫工作场所，保持生产环境的洁净。
7.在清洗过程当中可以改善材料表面的活性，亲水性，提高材料表面的达因值
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